PI-94-1多功能等离子体浸没离子注入装置

2012年01月19日 浏览次数：1890

 

名称/型号PI-94-1多功能等离子体浸没离子注入装置
设备特点对样品有要求：平面或圆柱试件
技术指标真空室体积：Φ1000×1200mm；
高压幅值：5 - 40KV；
RF功率： 0.1 - 2KW
应用方向材料表面改性、等离子体浸没离子注入

 

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