设备简介
纳米压痕仪能通过实时记录力和对应位移深度的曲线来测量纳米或微米级薄膜材料力学性能。该仪器不仅提供纳米压痕功能，同时也提供纳米划痕功能和台阶仪功能，即不仅可以满足薄膜硬度、弹性模量等性能的测量，还可实现薄膜与基体之间的结合力和定量表面形貌的测量。
设备性能指标
1、压头总的位移范围：³1.5mm ；
2、最大压痕深度：³500mm ；
3、加载模式电磁力加载；
4、最大载荷：³500mN；
5、最小接触力：£1.0mN；
6、仪器框架刚度：³5x106 N/m；
7、最大划痕力（Z方向）：³500 mN；
8、最大划擦深度：³500 mm；
9、 最大划痕长度：³100mm；
10、最大划痕速度：³100mm/s；
11、 内置一个 金刚石压头，顶部曲率半径：£ 20nm；
12、 实时温度测量、采集并显示。
1) 纳米压痕测试功能
1、 系统能够扫描并显示试样表面任意方向的轮廓图。
2、系统能够执行线性变载或恒定载荷模式下的硬度测试及划痕测试。
硬度测试结果自动给出硬度值、压痕深度、弹性模量和刚度值。
划痕测试结果自动给出薄膜表面倾斜度、粗糙度和划痕残余深度、宽度、侧表面残余高度以及材料的弹性恢复等力学性能。
生产厂商：安捷伦公司
仪器型号：NANO Indenter G200型