2024年12月14日,“2024大湾区高能脉冲PVD高峰论坛”在广东省东莞市松山湖材料实验室成功举行,我实验室田修波教授担任大会主席。会议由松山湖材料实验室、材料结构精密焊接与连接全国重点实验室联合举办,得到了广东省真空学会、深圳市真空技术行业协会、深圳市真空学会的大力支持。
会议旨在交流“高能脉冲磁控”、“脉冲弧”新技术的进展和产业应用验证,针对行业痛点、提供解决方案。来自有清华大学、北京大学、哈尔滨工业大学、华南理工大学、香港城市大学、松山湖材料实验室、中科院金属所、中科院兰州化学物理研究所、广东省科学院新材料研究所、季华实验室、华为、华星光电、捷嘉伟创、富士康、广东汇成等百余所高校、科研院所和企业的专家学者250余人参加了本次学术会议,共同研讨高能脉冲PVD(真空镀膜)领域的最新研究成果和未来发展趋势。
实验室副主任亓钧雷教授致辞
实验室副主任亓钧雷教授致辞欢迎各位来宾的到来,会议主席田修波教授宣布会议正式召开。与会代表围绕高能脉冲磁控电源技术、薄膜材料科学基础、高能脉冲磁控镀膜产业进展等方面分享了近20场精彩的学术报告,赢得现场与会专家热烈反响和讨论。
实验室田修波教授宣布会议开幕
我实验室田修波教授谈到,高能脉冲PVD基于高密度等离子体放电产生离子、电子的综合效应,有效提高了真空镀膜的膜基结合力、膜层致密性、均匀性等等,是下一代真空镀膜的趋势技术,有望在半导体TGV、柔性电路板、高端装饰镀膜等领域取得突破进展。我们要尽早布局,并加大产学研用的生态平台建设,进而服务于半导体、3C、新能源、生物医疗等重点产业升级。
与会代表参加学术交流会
与会代表合影留念