名称/型号 | 多功能离子镀膜机(自制) |
设备特点 | 自制 |
技术指标 | 注入电压:50KV; 改性层厚度:0.01µm~20µm; 阴极弧电流:50~200A; 磁控溅射:5000W |
应用方向 | 用于离子注入,阴极弧沉积,高离化率磁控溅射.可以在半导体、绝缘材料及金属零部件表面进行注入或沉积,获得功能表面处理.特别适合于复杂形状零部件的表面处理. |
名称/型号 | 多功能离子镀膜机(自制) |
设备特点 | 自制 |
技术指标 | 注入电压:50KV; 改性层厚度:0.01µm~20µm; 阴极弧电流:50~200A; 磁控溅射:5000W |
应用方向 | 用于离子注入,阴极弧沉积,高离化率磁控溅射.可以在半导体、绝缘材料及金属零部件表面进行注入或沉积,获得功能表面处理.特别适合于复杂形状零部件的表面处理. |