PI-94-1多功能等离子体浸没离子注入装置

发布人：系统管理员  发布时间：2012-01-19   浏览次数:1313

名称/型号 PI-94-1多功能等离子体浸没离子注入装置 设备特点 对样品有要求：平面或圆柱试件 技术指标 真空室体积：Φ1000×1200mm； 高压幅值：5 - 40KV； RF功率： 0.1 - 2KW 应用方向 材料表面改性、等离子体浸没离子注入