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制造商

HITCHI日立

验收时间

2005年12月

主要技术指标

高真空（7Pa）工作电流15mA、溅射膜层厚度10nm

主要附件

蒸碳镀膜仪

主要功能及应用范围

扫描电子显微镜制样设备

设备负责人

郑祖金

联系方式

电 话：13946036181

Email：20369@qq.com

设备地址

材料学院511