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多功能等离子体浸没离子注入装置
发布人:系统管理员  发布时间:2015-05-19   浏览次数:3180

 


名称/型号:PI-94-1多功能等离子体浸没离子注入装置 
设备特点:对样品有要求:平面或圆柱试件 
技术指标:真空室体积:Φ1000×1200mm;高压幅值:5-40KV;RF功率:0.1 - 2KW 
应用方向:材料表面改性、等离子体浸没离子注入