多功能等离子体浸没离子注入装置

2015年05月19日浏览次数：4075

名称/型号：PI-94-1多功能等离子体浸没离子注入装置
设备特点：对样品有要求：平面或圆柱试件
技术指标：真空室体积：Φ1000×1200mm；高压幅值：5-40KV；RF功率：0.1 - 2KW
应用方向：材料表面改性、等离子体浸没离子注入